硅片：Silicon Wafer，半导体级硅片，通常也叫晶圆，用于集成电路、分立器件、传感器等半导体产品制造。按其直径尺寸主要分为4 英寸、6 英寸、8 英寸、12 英寸等规格。晶圆：在氧化/扩散、光刻、刻蚀、离子注入、薄膜生长、清洗与抛光、金属化等特定工艺加工过程中的硅片
