产品优势:

1.高性能等离子电源系统，保证咬蚀与活化均匀度。

2.设备同时兼容6寸、8寸和12寸的晶圆，适应灵活的生产需求。

3.全自动等离子腔体设计，流程优化，等离子反应空间合理，处理均匀。

4.配备高精度双臂晶圆机器人，精准定位晶圆，降低晶圆损坏风险。

5.集成的控制系统设计，简化操作流程，降低应用门槛，提升生产效率。