CORONA-500W 设备介绍
泰研CORONA-500W 全自动晶圆等离子清洗/ 刻蚀设备主要应用于晶圆表面清洗和预处理，可同时兼容6 寸、8 寸、12 寸晶圆。
CORONA-500W 主要由6/8/12 寸晶圆装载端口、双臂晶圆机器人、对准器以及真空腔体模组等构成。
可为晶圆除胶与清孔、增强晶圆附着力、去除金属氧化物以及晶圆应力释放等工序提供有效的解决方案。
高性能等离子电源系统，精准控态，保证晶圆咬蚀与活化均匀度，为后续工艺奠基。
高性能电源
多尺寸兼容
设备兼容 6 寸、8 寸、12 寸晶圆，灵活应对不同规格的生产任务，匹配多样生产场景。
全自动腔体
全自动等离子腔体设计，优化背部结构与反应流程流，提升晶圆处理的均匀形和一致性。
晶圆机械臂
配备高精度双臂晶圆机器人，精准定位晶圆，平稳移送晶圆，降低晶圆损坏风险。
集成控制系统
集成的控制系统设计，简化操作流程，降低应用门槛的同时提升生产效率。
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 设备尺寸 | 1900*1500*2100mm（L*W*H） |
| 腔体模式 | 侧面开口 |
| 晶圆尺寸 | 8英寸（兼容6英寸、12英寸）厚度≤200um，翘曲≤1mm |
| 电浆配置 | RF1000W、13.56MHz |
| 工艺气体 | O₂, Ar, N₂, CF₄ (备用) |
| 进气方式 | 顶部进气 |
| 流量计 | 0-300sccm |
| 真空泵 | 干泵 |
| 真空度 | 0.02Torr |
CORONA-500W 设备规格
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