TPE-600P设备介绍
泰研TPE-600P 板级等离子蚀刻机可高效完成板级产品的清洗、表面改质、活化、粗化、除胶及微刻蚀等工艺。
该设备采用模块化结构，核心组件包括高稳定性真空腔体、多通道气体精准配比系统以及高效真空抽气系统，确保工艺过程稳定可控。兼容EMC、ABF、PET、PI 等有机基材，以及玻璃、陶瓷、SiO2、SiC、硅片等无机材料，最大可处理600×600mm 尺寸的PCB、IC 载板及先进封装基板。
支持600×600mm 大尺寸基板加工，适配EMC、玻璃、陶瓷、SiC 等多种材料。
兼容多种材料
多路气路配置
可用≥ 3 路独立气路，可选O ₂ /Ar/CF ₄ /N ₂ /O ₂ +H ₂等气体，满足多样化工艺需求。
多重安全防护
自主研发软硬件集成多重安全警报，配备光感防护，保障操作安全性与设备稳定性。
适配复杂工艺
RF 射频电源可调功率范围0~3000W，结合多参数协同控制，灵活适配复杂工艺制程。
保障刻蚀均匀
优化腔体设计，保障腔体均匀些，降低气体流量误差，保障刻蚀均匀性与工艺一致性。
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 设备尺寸 | 1000*1500*2100mm（L*W*H） |
| 真空系统 | 干泵 抽速: 600 m³/h，极限真空: 0.5 Pa |
| 分子泵 转速: 33,000 rpm，抽速：N₂:300 L/s | |
| 蝶阀 控制精度 0.1% | |
| 真空计 1*10⁻³ Torr | |
| 漏率 <20 mTorr/min | |
| 工艺性能 | 蚀刻速率 >150 nm/min @ ABF |
| 均匀性 <10% | |
| 腔体材料 | SUS304不锈钢 |
| 温控系统 | 25-80℃(±0.1℃) |
| 射频电源 | 3000W |
| 气体控制 | 10-300 SCCM |
TPE-600P设备规格
|
|